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高溫箱式爐普通以碳化硅棒為電熱元件，較高工作溫度為1350度，碳化硅棒垂直布置于爐頂和爐底。碳化硅棒屬于非金屬材料。其電阻值在加熱過程中變化很大，為了避免碳化硅棒損壞央850度以下加熱速度不宜太快。碳化硅棒在運用時會逐漸老化，電阻值顯著增加，使升溫緩慢以致達不到需求的溫度，所以，為了調(diào)理輸入的功率，電壓應相應的進步，故需求配備小擋多級的調(diào)壓變壓器。碳化硅棒耐急冷急熱性差，高溫強度低，脆性大，這限制了碳化硅棒的長度和爐膛尺寸。

只能處置較小尺寸的工件，影響了爐子的應用范圍。高溫箱式爐的爐襯比較厚，通常有三層：用高鋁磚砌的耐火層；用保溫磚砌的中間層；外層則為保溫填料，也可以在耐火層和保溫層之間夾以硅酸鋁耐火纖維。

爐底板采用碳化硅制品。二硅化鉬是又一種高溫非金屬電熱元件材料，較高工作溫度可達1600度，同樣需求調(diào)壓變壓器。目前還有用高溫電阻合金做電熱元件的高溫箱式電阻爐，額定溫度可達1200度，雖較高運用溫度略低于非金屬加熱元件的高溫電阻爐，但其功率和爐膛尺寸較大，可以熱處置較大尺寸的工件。